真空腔体管道设计原理

当为工艺选择真空泵时，工艺室和泵之间的泵送管道可能与泵的选择一样重要。为了获得高泵送速率，需要直的泵送管(短长度)和直径尽可能大的管。真空腔

看似简单，但这里要考虑的因素很多。其实如果从物理角度考虑，就能明确哪些是关键因素，真空腔在稳态条件下，如果泵送管道中没有气源(泄漏)或气体减少(渴结)，泵送管道任意截面的质量流量心须相同。简单地说，进入外理室的气体必须被抽出。

在某种程度上，短粗的管道是好的。

使用短目大直径的泵送管道来尽可能地提高管道传导率是一种良好的做法，但仅当示送速度S接近泵送速度(Sp)的极值时。

另外，通过增加管径来增加电导(成本也会相应增加)并不能显著提高工艺室的抽气速率:换句话说，如果泵送管道的电导是有限的，并目由于物理因素而不能增加，当(S)接近管道电导(C)的极值时，通过增加应用泵速来增加工艺泵速是不经济的。